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一種氦氣凈化裝置,包括依次連接的進氣口(1),吸附筒(2)和出氣口(3),其中吸附筒(2)包括內筒(21),被中間層包圍( 22)在內筒(21)的圓周側壁上,內部熱交換管(23)設置在內筒(21)內,并且內筒(21)被填充以吸附氣體雜質吸附劑,中間層 (22)充滿液氮以提供低溫環境,低溫吸附裝置還包括用于再生吸附劑的再生裝置; 2)還提供了用于容易操作的溫度測量點TI和用于測量中間層(22)中的液氮水平的液體測量點L1。
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